氣相超聲波清洗機(jī)又簡(jiǎn)稱為氣相清洗機(jī)，采用三氯乙稀，二氯甲烷，等揮發(fā)性有機(jī)溶劑做為清洗劑，也是被譽(yù)為最佳的清洗設(shè)備，具有清洗速度快，效果好等優(yōu)點(diǎn)。并且氣相清洗的工件無(wú)需另設(shè)干燥設(shè)備，可通過(guò)機(jī)器自身的冷氣裝置把工件冷凍干燥。

超聲波的功率密度對(duì)超聲波的清洗功率影響很大。運(yùn)用超聲波清洗的主要參數(shù)就是功率，或者確切的說(shuō)，是清洗槽內(nèi)被清洗工件外表的功率密度的巨細(xì)，它直接影響到超聲聲強(qiáng)的巨細(xì)，聲強(qiáng)巨細(xì)又是直接影響空化作用的要素。

超聲波清洗的作用不必定完全與功率×清洗時(shí)刻成正比，能夠幻想有時(shí)用小功率的清洗機(jī)，花費(fèi)很長(zhǎng)時(shí)刻也不會(huì)有特別顯著的作用，假如當(dāng)大功率超聲波清洗機(jī)功率到達(dá)必定值，則能夠很快將塵垢去除。但功率過(guò)大空化強(qiáng)度將大大增加，清洗作用是提高了，但會(huì)使較精密的零件發(fā)生蝕點(diǎn)因小失大。

并且超聲波底部振蕩處空化嚴(yán)重，很容易遭到水點(diǎn)腐蝕削減超聲波清洗劑的壽命。太強(qiáng)的聲強(qiáng)會(huì)構(gòu)成空化泡過(guò)多，構(gòu)成聲波屏障，是聲波不容易傳導(dǎo)到液體空間。在遠(yuǎn)離聲源的地方聲波強(qiáng)度會(huì)削弱很快，不能構(gòu)成有用的清洗。超聲波的功率密度越大空化作用越強(qiáng)其清洗作用越好。